[发明专利]一种光波导芯体晶圆及光波导芯体及其制备方法在审
| 申请号： | 201710749320.0 | 申请日： | 2017-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN107479130A | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 汪沈炎;陆春校;黄平;诸晓燕;林尚亚;薄崇飞 | 申请（专利权）人： | 浙江富春江光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/125;G02B6/13 |
| 代理公司： | 杭州天欣专利事务所(普通合伙)33209 | 代理人： | 杨显俭 |
| 地址： | 311400 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光波导芯体晶圆及光波导芯体及其制备方法，包括多个分路器芯片、多个输入光纤芯片和多个输出光纤芯片，所述光波导芯体晶圆中，以输入光纤芯片、分路器芯片和输出光纤芯片为周期排列分布，同一周期内输入光纤芯片连接在该周期内分路器芯片的输入端，同一周期内输出光纤芯片连接在该周期内分路器芯片的输出端，且同一周期内的分路器芯片、输入光纤芯片和输出光纤芯片为一体式结构。本发明光波导芯体只需要八步，相对于现有工序来说，减少了一半的生产流程，在一定程度上缩短了生产时间，提高了30%以上的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 芯体晶圆 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种光波导芯体晶圆，其特征在于：包括多个分路器芯片、多个输入光纤芯片和多个输出光纤芯片，所述光波导芯体晶圆中，以输入光纤芯片、分路器芯片和输出光纤芯片为周期排列分布，同一周期内输入光纤芯片连接在该周期内分路器芯片的输入端，同一周期内输出光纤芯片连接在该周期内分路器芯片的输出端，且同一周期内的分路器芯片、输入光纤芯片和输出光纤芯片为一体式结构。
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