[发明专利]一种晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构

摘要

本发明公开一种晶圆盒自动定位机构，包括矩形的晶圆盒托盘，所述晶圆盒托盘一侧固定安装有基准块，所述晶圆盒托盘另外三侧分别设置有直线导轨，所述直线导轨上安装有调整块，所述调整块顶端设置有调整块连接件，所述调整块连接件连接有驱动电机，所述驱动电机连接有驱动器。本发明还公开一种晶元盒运输车，包括自动引导运输车，所述自动引导运输车包括车体和位于所述车体上的车架，所述车架上安装有晶圆盒升降台，所述晶圆盒托盘固定于所述晶圆盒升降台顶部。本发明提供的晶元盒运输车及其晶圆盒自动定位机构，使得更换晶圆盒时可以根据不同晶元尺寸实现自动定位。

主权项

1.一种晶圆盒自动定位机构，其特征在于：包括矩形的晶圆盒托盘，所述晶圆盒托盘一侧固定安装有基准块，所述晶圆盒托盘另外三侧分别设置有直线导轨，所述直线导轨上安装有调整块，所述调整块顶端设置有调整块连接件，所述调整块连接件连接有驱动电机，所述驱动电机连接有驱动器；所述晶圆盒托盘上设置有感应器，所述感应器与所述驱动器连接；所述晶圆盒托盘包括第一侧、第二侧、第三侧和第四侧；所述晶圆盒托盘的第一侧固定安装有基准块，所述晶圆盒托盘的第二侧和所述晶圆盒托盘的第三侧之间安装有第一直线导轨；所述晶圆盒托盘的第四侧安装有第二直线导轨；所述第一直线导轨两端和所述第二直线导轨远离所述晶圆盒托盘中心的一端分别安装有调整块；所述驱动电机为单出轴直线电机或双出轴直线电机；所述晶圆盒托盘的第二侧和所述晶圆盒托盘的第三侧之间设置有与所述第一直线导轨平行的双出轴直线电机，所述双出轴直线电机通过第一活动轴与所述第一直线导轨两端的调整块连接件连接；所述晶圆盒托盘的第四侧设置有与所述第二直线导轨平行的单出轴直线电机，所述单出轴直线电机通过第二活动轴与所述第二直线导轨一端的调整块连接件连接；所述调整块连接件固定于所述调整块上，且与所述晶圆盒托盘平行设置；所述调整块连接件两端设置有与所述晶圆盒托盘垂直的侧板，所述侧板端部与所述晶圆盒托盘滑动接触；所述晶圆盒托盘上开设有滑槽，所述滑槽位于所述晶圆盒托盘与所述侧板接触处。