[发明专利]制品及用于制造腔室的腔室组件有效

专利信息
申请号: 201710750789.6 申请日: 2014-05-20
公开(公告)号: CN107546136B 公开(公告)日: 2020-12-04
发明(设计)人: J·Y·孙;B·P·卡农戈;T·赵 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;C23F4/00;C23C4/10;C23C4/134
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 侯颖媖
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种制品及用于制造腔室的腔室组件。一种制品包括涂覆有陶瓷涂层的主体。该陶瓷涂层可以包括:在约45摩尔%到约99摩尔%之间的范围内的Y2O3、在约0摩尔%到约55摩尔%之间的范围内的ZrO2、以及在约0摩尔%到约10摩尔%之间的范围内的Al2O3。或者,该陶瓷涂层可以包括:在约30摩尔%到约60摩尔%之间的范围内的Y2O3、在约0摩尔%到约20摩尔%之间的范围内的ZrO2、以及在约30摩尔%到约60摩尔%之间的范围内的Al2O3
搜索关键词: 制品 用于 制造 组件
【主权项】:
一种制品,包括:主体;以及在所述主体的至少一个表面上的陶瓷涂层,其中,所述陶瓷涂层包括:在约37.5摩尔%到约53摩尔%之间的范围内的Y2O3、在从约0摩尔%到约12摩尔%的范围内的ZrO2、以及在从约37摩尔%到约62.5摩尔%的范围内的Al2O3。
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