[发明专利]纳米光栅离心式三轴MEMS惯组装置

摘要

纳米光栅离心式三轴MEMS惯组装置，主要结构包括上基板、动光栅层、定光栅层、下基板、光电探测器、检测梁、联接块、质量块、动光栅、凸台、激光光源、导线组成，上基板内设置光电探测器、导线，动光栅层设置支撑框架、中央设有动光栅的质量块、检测梁、联接块，定光栅层设置定光栅，下基板内设置激光光源、导线，此装置无需驱动，该惯组装置具有量程大、结构简单、正交耦合误差小、横向误差小的优点。

主权项

纳米光栅离心式三轴MEMS惯组装置，其特征在于，所述MEMS惯组装置包括：上基板、动光栅层、定光栅层及下基板，所述上基板、动光栅层、定光栅层及下基板依次叠层布置；所述MEMS惯组装置还包括纳米检测单元，所述纳米检测单元数量为多个，分别被布置在边侧及中心处；所述纳米检测单元包括：激光探测器、动光栅、定光栅、及激光光源，所述激光探测器、动光栅、定光栅、及激光光源分别设置在所述上基板、动光栅层、定光栅层及下基板上，同一个纳米光栅检测单元内，所述激光探测器、动光栅、定光栅、及激光光源置于同一竖直线上；所述动光栅布置在中心质量块及边侧质量块上，所述边侧质量块通过折叠梁结构连接在所述动光栅层上，所述中心质量块通过弹性梁连接在所述动光栅层上。