[发明专利]镍铼合金靶材及其制法有效
| 申请号： | 201710762175.X | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN109423615B | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 唐志文;刘宜陇;黄威智;罗尚贤;郑惠文 | 申请（专利权）人： | 光洋应用材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C19/03 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;鲍俊萍 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镍铼合金靶材及其制法。该镍铼合金靶材包括镍、铼及第一金属成分，第一金属成分包含铝、锆或其组合，以该镍铼合金靶材的原子总数为基准，铼的含量大于0原子百分比且小于或等于7原子百分比，第一金属成分的总含量大于0原子百分比且小于或等于3原子百分比，且铼及第一金属成分的总含量大于0原子百分比且小于10原子百分比。藉由控制镍铼合金靶材的组成，本发明的镍铼合金靶材靶材能适用于溅镀形成垂直式磁记录媒体的晶种层，从而提升其记录密度。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 及其 制法 | ||
【主权项】：
1.一种镍铼合金靶材，其特征在于，包括镍、铼及第一金属成分，第一金属成分包含铝、锆或其组合，以该镍铼合金靶材的原子总数为基准，铼的含量大于0原子百分比且小于或等于7原子百分比，第一金属成分的总含量大于0原子百分比且小于或等于3原子百分比，且铼及第一金属成分的总含量大于0原子百分比且小于10原子百分比。
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