[发明专利]一种实现激光扫描与同轴监控一体的高倍显微物镜光路系统

摘要

本发明公开了一种实现激光扫描与同轴监控一体的高倍显微物镜光路系统，包括依次相接的总孔径光阑、大角度望远光路、分光棱镜和高倍率显微物镜光路；其中，总孔径光阑的光路轴线和大角度望远光路的光路轴线重合；大角度望远光路的光路轴线与高倍率显微物镜光路的光路轴线相互垂直。本发明利用大角度望远系统将激光扫描光路的孔径光阑与显微物镜孔径光阑匹配，解决了激光扫描光路要求孔径光阑前置与高倍显微物镜光路要求将孔径光阑中置的矛盾；满足激光平场扫描系统要求将总孔径光阑前置，同时第二透镜组作为高倍显微物镜实现对激光标记或打孔的高倍率监控；整个光路系统作为激光扫描系统满足远心扫描条件；通过一个分光棱镜可以实现激光与可见光波段分光。

主权项

一种实现激光扫描与同轴监控一体的高倍显微物镜光路系统，其特征在于：包括依次相接的总孔径光阑、大角度望远光路、分光镜和高倍率显微物镜光路；其中，总孔径光阑的光路轴线和大角度望远光路的光路轴线重合；大角度望远光路的光路轴线与高倍率显微物镜光路的光路轴线相互垂直；大角度望远光路包括顺序相接的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜；其中，第一透镜与孔径光阑相邻；第一透镜和第四透镜为具有正光焦度的双凸透镜；第三透镜为具有正光焦度的弯月形透镜，第三透镜的凹面朝向总孔径光阑；第二透镜为具有负光焦度的双凹透镜；分光镜为分光棱镜或分光分束镜。