[发明专利]压电元件、致动器及马达、机器人、输送装置及打印机有效
申请号: | 201710762727.7 | 申请日: | 2017-08-29 |
公开(公告)号: | CN107800325B | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 古林智一;岸田三省;浅川勉 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H02N2/00 | 分类号: | H02N2/00;H02N2/10;H02N2/12;B25J15/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 张永明;玉昌峰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供压电元件、致动器及马达、机器人、输送装置及打印机,提供一种能够充分地抑制电极成分向压电体层的扩散,并且能够在充分地提高电特性的同时使压电元件的厚度变厚的压电元件,另外,提供具备该压电元件的压电致动器、压电马达、机器人、电子部件输送装置及打印机。压电元件的特征在于,具备:基板;第一电极,配置于所述基板上;压电体层,配置于所述第一电极上,并具有构成为包含压电体材料的多个层,所述多个层的厚度的总和在1.6μm以上且10μm以下的范围内;以及中间层,配置于所述压电体层的层间,并构成为含有钛。 | ||
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【主权项】:
一种压电元件,其特征在于,具备:基板;第一电极,配置于所述基板上;压电体层,配置于所述第一电极上,并具有构成为包含压电体材料的多个层,所述多个层的厚度的总和在1.6μm以上且10μm以下的范围内;以及中间层,配置于所述压电体层的层间,并构成为含有钛。
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