[发明专利]一种集成于MOCVD的快速的在线PL测试系统设计及方法在审
| 申请号： | 201710763018.0 | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN109425594A | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 马后永 | 申请（专利权）人： | 映瑞光电科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63;G01J1/58;G01J9/00 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 周乃鑫;朱成之 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种集成于MOCVD的快速的在线PL测试系统设计及方法，在设置的在位监测探头组中整合三个探头：第一探头与RT测试模块相对应，在外延生长过程中对反应腔内的外延片进行RT监测；第二探头与固体激光光源发射模组相对应，来向反应腔内的外延片发射PL测试用的激光；第三探头与反射激光信号收集模组相对应，对反应腔内的外延片对所述激光的反射光进行采集。所述固体激光光源发射模组及反射激光信号收集模组相配合，在外延生长结束自然冷却降温的过程中对反应腔内的外延片进行PL测试，以方便工程师获取测试参数来及时调整下炉量产的波长值，从而提升产出效率，提高外延生产良率。 | ||
| 搜索关键词： | 反应腔 外延片 探头 测试系统设计 反射激光信号 固体激光光源 发射模组 模组 激光 外延生长过程 测试 测试参数 测试模块 外延生产 外延生长 在位监测 反射光 探头组 波长 良率 量产 下炉 整合 工程师 采集 发射 监测 配合 | ||
【主权项】：
1.一种集成于MOCVD设备的在线PL测试系统，其特征在于，所述在线PL测试系统设置的在位监测探头组中，包含整合的三个探头：第一探头，其与RT测试模块相对应，对反应腔内的外延片进行RT监测；第二探头，其与固体激光光源发射模组相对应，来向反应腔内的外延片发射PL测试用的激光；第三探头，其与反射激光信号收集模组相对应，对反应腔内的外延片对所述激光的反射光进行采集。
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