[发明专利]一种用于激光加工的F-theta镜头在审
| 申请号： | 201710763481.5 | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN109425962A | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 孙建超 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种用于激光加工的F‑theta镜头，所述F‑theta镜头包括具有正光焦度的第一透镜，具有负光焦度的第二透镜，具有正光焦度的第三透镜，具有正光焦度的第四透镜，以及具有正光焦度的第五透镜；通过对所述透镜的镜面曲率进行优化，使所述F‑theta镜头具有大视场、低远心度和小畸变的特点，有效减小激光加工时光斑在水平向的测量误差，以及较好地抑制了扫描视场范围内激光光斑的变形。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 正光焦度 激光加工 镜头 负光焦度 激光光斑 镜面曲率 扫描视场 光斑 大视场 水平向 小畸变 远心度 减小 变形 测量 优化 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光加工的F‑theta镜头，用于将物方投影到像方上，其特征在于，所述F‑theta镜头从所述物方开始沿着光轴到所述像方依次包括：具有正光焦度的第一透镜组，具有负光焦度的第二透镜组，具有正光焦度的第三透镜组，具有正光焦度的第四透镜组，以及具有正光焦度的第五透镜组；各透镜组的焦距满足以下关系：1.1
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