[发明专利]一种掺杂碳纳米管的氧化硅阻变薄膜的制备方法有效

专利信息
申请号: 201710764056.8 申请日: 2017-08-30
公开(公告)号: CN107663633B 公开(公告)日: 2019-09-27
发明(设计)人: 李颖;赵高扬;刘晋成;张虎 申请(专利权)人: 西安理工大学
主分类号: C23C18/12 分类号: C23C18/12;H01L45/00
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 李娜
地址: 710048*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种掺杂碳纳米管的氧化硅阻变薄膜的制备方法,包括以下步骤:步骤1,分别制备氧化硅溶胶和碳纳米管‑无水乙醇混合溶液;步骤2,先按照20:0.5‑1的体积比分别量取经步骤1得到的氧化硅溶胶和碳纳米管‑无水乙醇混合溶液,然后将量取后的氧化硅溶胶和碳纳米管‑无水乙醇混合溶液混合,并在密封条件下搅拌均匀,得到碳纳米管‑氧化硅混合溶液;步骤3,选取基板,并采用浸渍提拉法使基板在经步骤3得到碳纳米管‑氧化硅混合溶液中提拉成膜,制备出碳纳米管‑氧化硅凝胶薄膜,之后对制备出的碳纳米管‑氧化硅凝胶薄膜进行热处理,最终得到掺杂碳纳米管的氧化硅阻变薄膜。
搜索关键词: 碳纳米管 氧化硅 制备 薄膜 混合溶液 氧化硅溶胶 无水乙醇 氧化硅凝胶 掺杂 基板 混合溶液中 浸渍提拉法 热处理 密封条件 提拉成膜 体积比 量取
【主权项】:
1.一种掺杂碳纳米管的氧化硅阻变薄膜的制备方法,其特征在于,具体按照以下步骤实施:步骤1,以碳纳米管粉末为溶质,无水乙醇为溶剂,制备浓度为10‑5g/mL的碳纳米管溶液;步骤2,按照20:0.5‑1的体积比分别量取氧化硅溶胶、经步骤1制备得到的碳纳米管溶液,将量取后的氧化硅溶胶和碳纳米管溶液混合并搅拌均匀,得到掺杂碳纳米管的氧化硅溶液;步骤3,选取基板,将基板置于经步骤2得到的掺杂碳纳米管的氧化硅溶液中,并采用浸渍提拉法在其表面提拉一层凝胶薄膜;步骤4,在惰性气体的保护下,对经步骤3提拉出的凝胶薄膜进行热处理,最终得到掺杂碳纳米管的氧化硅阻变薄膜。
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