[发明专利]一种基于激光干涉法的气体微流量测量装置及方法在审
| 申请号： | 201710765875.4 | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN107643110A | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 李得天;成永军;习振华;张虎忠;李艳武;裴晓强;袁征难;马亚芳;葛瑞宏 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01F1/66 | 分类号： | G01F1/66 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心11120 | 代理人： | 仇蕾安,付雷杰 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于激光干涉法的气体微流量测量装置及方法，该测量装置包括流量计真空装置及激光干涉仪；将激光干涉仪的谐振腔与流量计真空装置的稳压室连通，利用激光干涉仪测得的频率与气体微流量的关系得出标准流量值，频率与气体微流量的关系采用固定流导法得到。本发明灵敏度高、响应快、分辨率高等特点，有效实现了气体微流量测量不确定度近5倍的减小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 干涉 气体 流量 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于激光干涉法的气体微流量测量装置，其特征在于，该测量装置包括流量计真空装置及激光干涉仪；将激光干涉仪的谐振腔与流量计真空装置的稳压室连通，利用激光干涉仪测得的频率与气体微流量的关系得出标准流量值，所述频率与气体微流量的关系采用固定流导法得到。
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