[发明专利]一种能够进行空气循环的纳米压印设备在审
| 申请号： | 201710769532.5 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN107479324A | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 赵敏洁;杨彦涛 | 申请（专利权）人： | 无锡英普林纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 成立珍 |
| 地址： | 214192 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种能够进行空气循环的纳米压印设备，包括支撑座和升降台，支撑座和升降台的外部设有壳体，升降台的四周具有多根升降柱固定于支撑座上，升降台可以沿升降柱移动，所述支撑座上还设有硅胶垫和样品台，升降台中部设有模板以及位于模板上方的紫外灯。所述壳体在样平台的高度位置设有空气进口和空气出口，空气进口和空气出口相对设置，所述壳体上的空气进口沿气流的方向直径越来越大，空气出口沿气流的方向直径越来越小，空气进口直径最大处设有一层能够进行空气滤清的滤网。采用本发明的设计，能够尽量减缓空气在样品台出的空气流速，并且加快整体的空气循环效率，同时防止循环后的空气携带压印杂质，影响下一次的压印效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能够 进行 空气 循环 纳米 压印 设备 | ||
【主权项】：
一种能够进行空气循环的纳米压印设备，包括支撑座和升降台，支撑座和升降台的外部设有壳体，升降台的四周具有多根升降柱固定于支撑座上，升降台可以沿升降柱移动，所述支撑座上还设有硅胶垫和样品台，升降台中部设有模板以及位于模板上方的紫外灯，其特征在于：所述壳体在样平台的高度位置设有空气进口和空气出口，所述壳体上的空气进口沿气流的方向直径越来越大，空气出口沿气流的方向直径越来越小。
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