[发明专利]一种高精度抗震皮拉尼真空传感器在审

专利信息
申请号: 201710770221.0 申请日: 2017-08-31
公开(公告)号: CN109425463A 公开(公告)日: 2019-03-05
发明(设计)人: 刘明山 申请(专利权)人: 苏州润桐专利运营有限公司
主分类号: G01L21/00 分类号: G01L21/00
代理公司: 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261 代理人: 胡思棉
地址: 江苏省苏州市张家港*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及一种高精度抗震皮拉尼真空传感器,主要解决现有技术中存在的测量精度低、稳定性及防震动性低的技术问题,本发明通过采用所述感温装置包括敏感元件单元,所述敏感元件单元结构为螺旋灯丝结构,所述螺旋灯丝结构包括四层螺旋体,第一层螺旋体是副钨丝围绕第一主钨丝螺旋状环绕而成的螺旋体,第二层螺旋体是第一层螺旋体围绕第二主钨丝螺旋状环绕而成的螺旋体,第三层螺旋体是第二层螺旋体作螺旋状环绕而成的螺旋体,第四层螺旋体是第三层螺旋体作螺旋状环绕而成的螺旋体;所述钨丝为螺旋双绞的钨丝线组合的技术方案,较好的解决了该问题,可用于真空传感器的工业生产中。
搜索关键词: 螺旋体 螺旋状环绕 真空传感器 螺旋灯丝结构 敏感元件 第三层 第一层 主钨丝 抗震 钨丝 单元结构 防震动性 感温装置 副钨丝 钨丝线 可用 测量
【主权项】:
1.一种高精度抗震皮拉尼真空传感器,所述高精度抗震皮拉尼真空传感器包括感温模块及控制模块,所述感温模块包括金属外壳,所述金属外壳内设有真空腔,真空腔内设有感温装置,与感应装置连接的控制转换电路,所述控制转换电路包括信号放大电路及AD转换电路;所述控制模块包括与控制转换电路的微处理单元,与微处理单元连接的显示模块,其特征在于:所述感温装置包括敏感元件单元,所述敏感元件单元结构为螺旋灯丝结构,所述螺旋灯丝结构包括四层螺旋体,第一层螺旋体是副钨丝围绕第一主钨丝螺旋状环绕而成的螺旋体,第二层螺旋体是第一层螺旋体围绕第二主钨丝螺旋状环绕而成的螺旋体,第三层螺旋体是第二层螺旋体作螺旋状环绕而成的螺旋体,第四层螺旋体是第三层螺旋体作螺旋状环绕而成的螺旋体;所述钨丝为螺旋双绞的钨丝线组合。
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