[发明专利]锍化合物、抗蚀剂组合物和图案化方法

摘要

本发明涉及锍化合物、抗蚀剂组合物和图案化方法。对于改善对比度有效的、含有酸消除性取代基的锍盐，其高度可溶，可均匀分散。包含锍盐作为光致产酸剂的抗蚀剂组合物形成具有高的分辨率、矩形性和降低的LWR的图案。

主权项

锍化合物，其具有式(1A)、(1B)或(1C)：其中，L1是可含有含杂原子基的C1‑C20直链、支化或环状的二价烃基；X是二价连接基团；A是单键，亚甲基，羰基，亚磺酰基，磺酰基，氨基，醚键，硫醚键，酯键，碳酸酯键，氨基甲酸酯键或磺酸酯键；R1a‑R1c各自独立地是可含有含杂原子基的C1‑C20直链、支化或环状的一价烃基，R1a‑R1c中的至少一个是具有下示式(2)的基团，当包含至少两个R1a基团时，其中的两个可键合在一起以和与其相连的苯环上的碳原子形成环，当包含至少两个R1b基团时，其中的两个可键合在一起以和与其相连的苯环上的碳原子形成环，当包含至少两个R1c基团时，其中的两个可键合在一起以和与其相连的苯环上的碳原子形成环；m1、m2和m3是满足0≤m1≤5，0≤m2≤5，0≤m3≤4且m1+m2+m3≥1的整数；n1、n2和n3是满足0≤n1≤4，0≤n2≤4，0≤n3≤4且n1+n2+n3≥1的整数；k1、k2和k3是满足0≤k1≤5，0≤k2≤4，0≤k3≤3且k1+k2+k3≥1的整数；其中L2是可含有含杂原子基的C1‑C20直链、支化或环状的二价烃基；R2是酸消除性基团，Rf1和Rf2各自独立地是氢，C1‑C20直链、支化或环状的烷基，氟或C1‑C20直链、支化或环状的氟代烷基，Rf1和Rf2中的至少一个是氟或氟代烷基，虚线表示价键。