[发明专利]致动传感模块

摘要

本案提供一种致动传感模块，由致动装置、第一基板、阀片层、第二基板依序堆叠构成。第一基板包含进气通道、排气通道、进气口及排气口，第二基板开设一贯穿槽。阀片层设置于第一基板及第二基板之间，使其进气阀及排气阀分别封闭隔绝进气通道及排气通道。致动装置封闭设置于第二基板的贯穿槽，以在阀片层及贯穿槽之间形成一压缩腔室。进气口、进气通道、压缩腔室、排气通道及排气口相互连通形成一气流回路，且传感器设置于气流回路中。透过致动装置驱动外界的一气体于气流回路中循环流通，可供传感器对循环的该气体进行监测。

主权项

1.一种致动传感模块，其特征在于，包含：一第一基板，包含一进气通道、一排气通道、一进气口与一排气口，该进气通道与该排气通道分别透过该进气口与该排气口连通至该第一基板之外部；一第二基板，开设一贯穿槽；一阀片层，包含一进气阀与一排气阀，该阀片层设置于该第一基板及该第二基板之间，且该进气阀及该排气阀分别封闭隔绝该进气通道及该排气通道；一致动装置，设置于该第二基板并封闭该贯穿槽，以在该阀片层与该第二基板的该贯穿槽之间形成一压缩腔室，其中该进气口、该进气通道、该压缩腔室、该排气通道及该排气口相互连通而形成一气流回路；以及一传感器，设置于该气流回路中的任一位置；透过驱动该致动装置，使该阀片层的该进气阀向上振动开启，以将外界的一气体经由该进气口导入该进气通道内，并使该气体流经该阀片层进入该压缩腔室，再透过该致动装置压缩该压缩腔室，使该阀片层的该排气阀向下振动开启，使该气体由该压缩腔室流经该阀片层进入该排气通道，并由该排气口排出，以供设置于该气流回路中的该传感器对循环流通的该气体进行监测。