[发明专利]钛掺杂无氢类金刚石薄膜、制备方法及其应用在审

专利信息
申请号: 201710771194.9 申请日: 2017-08-31
公开(公告)号: CN109423605A 公开(公告)日: 2019-03-05
发明(设计)人: 江晓红;肖金涛;何纯 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06;C23C14/32;A61L27/30;A61L27/50
代理公司: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 邹伟红;朱显国
地址: 210094 *** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种钛掺杂无氢类金刚石薄膜、制备方法及其应用,所述薄膜由金属钛掺杂到无氢类金刚石薄膜构成,其中,金属钛的掺杂量为4.6~17.5wt%。通过本发明所述制备方法沉积的薄膜具有较好的生物相容性、耐磨擦磨损性和较好的膜基结合力,可以用于修饰医用植入物的表面。
搜索关键词: 薄膜 无氢类金刚石 制备 金属钛 钛掺杂 膜基结合力 生物相容性 医用植入物 掺杂量 磨损性 沉积 修饰 磨擦 应用 掺杂
【主权项】:
1.钛掺杂无氢类金刚石薄膜,其特征在于,所述薄膜由金属钛掺杂到无氢类金刚石薄膜构成,其中,金属钛的掺杂量为4.6~17.5wt%。
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