[发明专利]致动传感模块

摘要

本案提供一种致动传感模块，包含第一基板、第二基板、致动装置及传感器。第一基板设有至少一控制电路，第二基板具有一气体入口及一气体出口。第一基板与第二基板叠合之后，在其之间形成一气体通道，气体入口、气体通道与气体出口相互连通形成一气流回路。致动装置设置于第二基板的气体入口，并电性连接控制电路以获取驱动电源。传感器设置于气流回路中任一位置，并电性连接控制电路以传送感测信息供其处理。透过驱动致动装置，可将外界的一气体导入气体通道，并在流经传感器后由气体出口排出，借此利用传感器对循环的该气体进行监测。

主权项

1.一种致动传感模块，其特征在于，包含：一第一基板，设有至少一控制电路；一第二基板，具有一气体入口及一气体出口，该第二基板与该第一基板叠合后形成一气体通道，该气体入口、该气体通道及该气体出口相互连通以形成一气流回路；至少一致动装置，设置于该第二基板的该气体入口，并电性连接该控制电路；以及至少一传感器，设置于该气流回路中任一位置，并电性连接该控制电路；透过驱动该致动装置，将外界的一气体经由该气体入口导入该气体通道，并使该气体在流经该传感器之后由该气体出口排出，以供该传感器对循环的该气体进行监测。