[发明专利]图案制造装置、图案制造方法及图案制造程序在审
申请号: | 201710772028.0 | 申请日: | 2017-08-31 |
公开(公告)号: | CN107870520A | 公开(公告)日: | 2018-04-03 |
发明(设计)人: | 大嶋英司 | 申请(专利权)人: | 康达智株式会社 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 陈炜,杜诚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开了一种图案制造装置、图案制造方法以及图案制造程序。对图案形成光固化层进行加热,从而能够快速成型。图案制造装置(100)包括控制器(101)、激光投影仪(102)和加热器(103)。控制器(101)控制激光投影仪(102)在放置在台(140)上的图案形成片(130)上形成图案。激光投影仪(102)包括光学引擎(121),并且控制器(101)控制激光投影仪(102)用来自光学引擎(121)的光束照射图案形成片(130)。加热器(103)对图案形成片(130)进行加热。 | ||
搜索关键词: | 图案 制造 装置 方法 程序 | ||
【主权项】:
一种图案制造装置,包括:形成单元,其通过用光束照射图案形成光固化层来形成图案;以及加热器,其对所述图案形成光固化层进行加热。
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