[发明专利]一种使用MEMS超小尺寸光谱仪在审
| 申请号： | 201710773046.0 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109425431A | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 吴砺;胡豪成;郑保忠;李阳;柏天国 | 申请（专利权）人： | 福州高意通讯有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/36 | 分类号： | G01J3/36;G01J3/02;G01J3/04;G01J3/18 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开一种使用MEMS超小尺寸光谱仪，其包括外壳、入射光栏、准直透镜、楔角片组、色散光栅、MEMS和PD探测器，入射光栏、准直透镜、楔角片组和色散光栅沿光路依次设置，MEMS设于色散光栅的衍射方向，所述楔角片组由具有不同角度的楔角片构成，PD探测器设于入射光栏内侧；入射光由入射光栏射入，准直透镜用于入射光的准直，准直后的入射光经楔角片组拓宽测试光谱范围后输出至色散光栅，色散光栅将入射光衍射至MEMS，经MEMS反射的反射光依次经过色散光栅、楔角片组和准直透镜最终聚焦到PD探测器上。本发明的光谱仪结构简单、尺寸小、低成本、波长范围宽的超小光谱仪。 | ||
| 搜索关键词： | 色散光栅 楔角片组 光谱仪 入射光栏 准直透镜 入射光 测试光谱 衍射方向 依次设置 低成本 反射光 楔角片 波长 光路 射入 衍射 准直 反射 聚焦 输出 | ||
【主权项】：
1.一种使用MEMS超小尺寸光谱仪，其特征在于：其包括外壳、入射光栏、准直透镜、楔角片组、色散光栅、MEMS和PD探测器，入射光栏、准直透镜、楔角片组和色散光栅沿光路依次设置，MEMS设于色散光栅的衍射方向，所述楔角片组由具有不同角度的楔角片构成，PD探测器设于入射光栏内侧；入射光由入射光栏射入，准直透镜用于入射光的准直，准直后的入射光经楔角片组拓宽测试光谱范围后输出至色散光栅，色散光栅将入射光衍射至MEMS，经MEMS反射的反射光依次经过色散光栅、楔角片组和准直透镜最终聚焦到PD探测器上。
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