[发明专利]用于激光雷达的MEMS微镜二维扫描准直发射光学系统在审

专利信息
申请号: 201710774431.7 申请日: 2017-08-31
公开(公告)号: CN107422473A 公开(公告)日: 2017-12-01
发明(设计)人: 来建成;张小凤;李振华;王春勇;严伟;纪运景 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: G02B26/08 分类号: G02B26/08;G02B26/10;G01S7/481
代理公司: 南京理工大学专利中心32203 代理人: 朱显国
地址: 210094 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种用于激光雷达的MEMS微镜二维扫描准直发射光学系统,包括脉冲激光二极管、消像散镜组、光束变换镜组、MEMS微镜、像点位置补偿镜组、准直物镜组和MEMS微镜驱动电路,脉冲激光二极管发射的激光依次经过消像散镜组和光束变换镜组到达MEMS微镜反射面,MEMS微镜在MEMS微镜驱动电路的控制下进行角度摆动形成激光扫描面,激光扫描面的光束再经过像点位置补偿镜组和准直物镜组实现准直出射。本发明发射光学系统提高了发射光束的准直性。
搜索关键词: 用于 激光雷达 mems 二维 扫描 发射 光学系统
【主权项】:
一种用于激光雷达的MEMS微镜二维扫描准直发射光学系统,其特征在于,包括脉冲激光二极管(1)、消像散镜组(2)、光束变换镜组(3)、MEMS微镜(4)、像点位置补偿镜组(5)、准直物镜组(6)和MEMS微镜驱动电路(7),脉冲激光二极管(1)发射的激光依次经过消像散镜组(2)和光束变换镜组(3)到达MEMS微镜(4)反射面,MEMS微镜(4)在MEMS微镜驱动电路(7)的控制下进行角度摆动形成激光扫描面,激光扫描面的光束再经过像点位置补偿镜组(5)和准直物镜组(6)实现准直出射。
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