[发明专利]线宽测量装置及方法

摘要

本发明提供了一种线宽测量装置和方法，通过获取所述标准基准板的图像在预设灰度值下对应的所述光源的第一电压、所述底座的光强分布、所述检测标记的光强分布和所述标准基准板的光强分布计算得出所述光源的第二电压，使所述第一检测单元形成的图像的对比度满足控制要求；调整所述光源的电压为所述第二电压，所述线宽测量装置在光源电压为第二电压时测量所述检测标记的线宽，可以有效避免由于光源的光强导致图像过明或过暗，使线宽测量装置无法正确测量线宽的问题，并且，本发明提供的调整光源的方法不需要人工干预，可以快速有效的寻找到最佳的光源光强，使测量效率大大提高。

主权项

1.一种线宽测量装置，其特征在于，所述线宽测量装置包括光源、第一光路、第二光路、第三光路、第四光路、第一检测单元及第二检测单元；其中，所述光源发出的检测光经过所述第一光路后照射到一检测对象上形成第一信号光，所述第一光信号经过所述第二光路后照射到所述第一检测单元，所述第一检测单元根据所述第一信号光得到所述检测对象的图像；所述光源发出的检测光经过所述第三光路后照射到所述检测对象上形成第二信号光，所述第二信号光经过所述第四光路后照射到所述第二检测单元，所述第二检测单元根据所述第二信号光得到所述检测对象的光强分布。