[发明专利]一种像质补偿装置及方法有效
| 申请号： | 201710776012.7 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109426095B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 韩建;郭银章 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种像质补偿装置及方法，该装置包括物镜单元、像质补偿单元和用于检测所述物镜单元的像质的像质检测单元，所述像质补偿单元包括设于所述物镜单元光路中的薄膜反射模块以及分别与所述像质检测单元和薄膜反射模块连接的变形控制模块。根据像质检测单元检测到的物镜单元的像质数据获得薄膜反射模块上不同位置的调整量，变形控制模块根据薄膜反射模块上不同位置的调整量对其进行垂向调整，以得到所需的面型，本发明可以很精确的补偿所有大范围像差随视场分布的常数项，且完全避免了在传统主动变形机构中进行像质补偿时，需要很大外力对厚度比较大镜片产生所需面型中调整精度不高、调整量不准确等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 补偿 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种像质补偿装置，其特征在于，包括物镜单元、像质补偿单元和用于检测所述物镜单元的像质的像质检测单元，所述像质补偿单元包括设于所述物镜单元光路中的薄膜反射模块以及分别与所述像质检测单元和薄膜反射模块连接的变形控制模块。
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