[发明专利]湿度传感器及其制备方法有效
申请号: | 201710776189.7 | 申请日: | 2017-08-31 |
公开(公告)号: | CN107748184B | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 汪飞;冷小辉 | 申请(专利权)人: | 南方科技大学 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 潘霞 |
地址: | 518055 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种湿度传感器及其制备方法。该湿度传感器包括衬底、电极和湿度感应层,电极设置在衬底上,湿度感应层设置在衬底上,并完全覆盖电极,湿度感应层的材料包括质量比为8:1~1:8的第一湿敏材料和第二湿敏材料,第一湿敏材料选自氧化石墨烯、改性氧化石墨烯及氧化碳纳米管中的至少一种,第二湿敏材料选自全氟磺酸及磺化聚醚醚酮中的至少一种。上述湿度传感器对湿度响应的线性程度较高。 | ||
搜索关键词: | 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种湿度传感器,其特征在于,包括衬底、电极和湿度感应层,所述电极设置在所述衬底上,所述湿度感应层设置在所述衬底上,并完全覆盖所述电极,所述湿度感应层的材料包括质量比为1:8~8:1的第一湿敏材料和第二湿敏材料,所述第一湿敏材料选自氧化石墨烯、改性氧化石墨烯及氧化碳纳米管中的至少一种,所述第二湿敏材料选自全氟磺酸及磺化聚醚醚酮中的至少一种。
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