[发明专利]一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法

摘要

本发明公开了一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法，涉及掩膜板清洗设备技术领域，为解决现有的掩膜板清洗系统的对掩膜板清洗效果不好的问题而发明。该掩膜板的夹具，包括：吊架；固定架，所述固定架用于固定掩膜板，所述固定架与所述吊架转动连接，且转动的中心轴线沿所述固定架的横向延伸；第一驱动装置，所述第一驱动装置固定于所述吊架上，并与所述固定架相连接，所述第一驱动装置用于驱动所述固定架相对所述吊架之间的转动。本发明可用于掩膜板的清洗。