[发明专利]一种大口径激光曝光系统

摘要

本发明属于光学元件制作领域，具体涉及一种用于制作衍射光学元件的具有大曝光尺寸的大口径激光曝光系统。该激光曝光系统包括上导光棱镜、下导光棱镜、波导板、蓄液槽和支撑机构，通过分别位于波导板的上下两侧的上导光棱镜和下导光棱镜，将上下两束入射激光以一定角度照射到波导板的曝光区域，在波导板中形成干涉条纹。该激光曝光系统结构简单，能够制作大尺寸衍射光学元件。

主权项

1.一种大口径激光曝光系统，所述激光曝光系统包括上导光棱镜、下导光棱镜、波导板、蓄液槽和支撑机构；其中，所述波导板包括感光材料；其特征在于，所述上导光棱镜和下导光棱镜，分别位于所述波导板的上下两侧，用于将上下两束入射激光以一定角度照射到所述波导板的曝光区域，在所述波导板中形成干涉条纹；其中，与所述波导板的下表面接触的所述下导光棱镜的激光出射面具有凸台结构；所述波导板，用于通过曝光方式记录由上下两束入射激光产生的干涉条纹，形成衍射光学元件；其中，所述波导板的上表面与所述上导光棱镜的激光出射面接触，所述波导板的下表面与所述下导光棱镜的所述凸台结构接触；所述波导板能够在所述上导光棱镜和下导光棱镜之间，沿水平方向移动，以调整曝光区域的位置；所述蓄液槽，用于承载具有一定折射率的匹配液；其中，所述蓄液槽的底面开设有与所述凸台结构的形状和尺寸相同的通孔，所述蓄液槽通过所述通孔套设在所述下导光棱镜的所述凸台结构上，并且所述蓄液槽的底面低于所述凸台结构的上表面，使得所述波导板的下表面不与所述蓄液槽接触，保证在曝光工作时间内，所述匹配液能够浸润所述波导板的全部光学工作面并且没有空气间隙；所述支撑机构，用于对所述下导光棱镜和所述蓄液槽进行支撑和固定，以保证所述激光曝光系统的光路稳定。