[发明专利]一种曝光机光源光学模组在审
申请号: | 201710780716.1 | 申请日: | 2017-09-01 |
公开(公告)号: | CN107390479A | 公开(公告)日: | 2017-11-24 |
发明(设计)人: | 王华;陈志特;高剑 | 申请(专利权)人: | 东莞科视自动化科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙)44231 | 代理人: | 成伟 |
地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种曝光机光源光学模组,包括LED大灯板、LED模组、冷却系统、蜂窝状滤光装置,LED模组包括设置在LED大灯板上的分为32个区域且成阵列分布的UV‑LED,32个区域每个区域设有92颗大功率LED;冷却系统为冰水冷却系统,包括设置在LED大灯板底部的冷却水管和水温监控系统;蜂窝状滤光装置包括设于LED大灯板上方的滤光板,滤光板上成阵列地设有蜂窝状的滤光透镜安装孔,滤光透镜安装孔内位于UV‑LED的上方上下间隔地设有上、下凸透镜两层光学透镜,上凸透镜的焦距大于下凸透镜的焦距。本发明可消除杂光,保证光源发射的平行度,且能量输出最大化,更能模拟平行光进行PCB曝光,且使用寿命长。 | ||
搜索关键词: | 一种 曝光 光源 光学 模组 | ||
【主权项】:
一种曝光机光源光学模组,其特征在于:包括LED大灯板(1)、设于LED大灯板上的LED模组(2)、设于LED大灯板底部的冷却系统(3)、设于LED大灯板上方的蜂窝状滤光装置(4),所述LED模组包括设置在LED大灯板上的分为32个区域且成阵列分布的UV‑LED(5),所述32个区域每个区域设有92颗UV‑LED;所述冷却系统为冰水冷却系统,包括均匀设置在LED大灯板底部的冷却水管(6)和水温监控系统;所述蜂窝状滤光装置包括设于LED大灯板上方的滤光板(7),所述滤光板上成阵列地设有蜂窝状的滤光透镜安装孔(8),所述滤光透镜安装孔内位于UV‑LED的上方上下间隔地设有上、下凸透镜(9、10)两层光学透镜,所述上凸透镜的焦距大于下凸透镜的焦距。
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