[发明专利]一种原子氧积分通量测量方法及原子氧传感器

摘要

本发明公开了一种基于惠斯顿电桥的原子氧积分通量测量方法及原子氧传感器。使用本发明能够消除温度对原子氧积分通量测量的影响，精确在轨监测航天器所处环境经受的原子氧积分通量。本发明通过在同一个基底上制作两个完全相同的电极‑敏感膜，其中一个作为测试电阻暴露于原子氧环境，另一个通过封装结构屏蔽原子氧的作用作为对比电阻，保证两个敏感膜的环境温度相同，将原子氧积分通量测量公式中的不变的初始电阻转变为随温度实时变化的电阻，排除温度对敏感膜电阻的影响；然后利用设计的惠斯顿电桥，将原子氧积分通量随阻值的变化转化为原子氧积分通量随惠斯顿电桥输出电压的变化，将电阻值测量转换成电压测量，测量方法更为简单、准确。

主权项

一种原子氧积分通量测量方法，采用电阻型原子氧传感器测量原子氧积分通量，其特征在于，所述原子氧传感器探头中，在基底上镀制两块一模一样的敏感膜，其中一块敏感膜作为待测元件，暴露于原子氧环境，与原子氧发生反应，另一块敏感膜上设置原子氧防护膜，作为参考元件，不与原子氧发生反应；在原子氧传感器电路板上设置两个阻值相同的定值电阻；电路板上的两个定值电阻以及探头上的待测元件、参考元件组成惠斯顿电桥；通过测量惠斯顿电桥的输出电压，得到原子氧积分通量。