[发明专利]一种基于纳米材料的柔性薄膜磁传感器的制备方法

摘要

本发明一种基于纳米材料的柔性薄膜磁传感器的制备方法，属于传感器技术领域；所要解决的技术问题是提供了一种基于纳米材料的柔性薄膜磁传感器的制备方法；解决该技术问题采用的技术方案为一种基于纳米材料的柔性薄膜磁传感器的制备方法，具体步骤为利用柔性聚合物材料、导电纳米材料、磁性纳米材料以涂覆的方法制备三明治结构的柔性薄膜磁传感器；本发明工艺简单、成本低廉、可控性强，制备得到的柔性薄膜磁传感器灵敏度高、稳定性强、伸缩性好，为实现微型化、低成本、批量化生产提供了可能；本发明可广泛应用于磁场检测领域。

主权项

一种基于纳米材料的柔性薄膜磁传感器的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：1）取一个培养皿，并将培养皿放在平整的桌面上；2）配置PDMS溶液：取PDMS预聚物与固化剂质量比为10:1置于试管中混合均匀得到PDMS溶液，然后将PDMS溶液加入到步骤1）所述的培养皿中；3）静置待溶液流平后将盛有PDMS溶液的培养皿放入70℃的干燥箱中加热2h使PDMS溶液固化得到PDMS薄膜；4）取出PDMS薄膜，在薄膜上贴一个具有凹槽的绝缘胶带，得到具有凹槽的PDMS柔性模板；5）向PDMS柔性模板的凹槽中填充分散均匀的磁性纳米材料和导电纳米材料的混合物；6）待纳米材料混合物彻底干燥后，撕下绝缘胶带，并用导电铜胶带从纳米材料混合物两个相对的边缘引出两个电极；7）然后在纳米材料混合物上方滴一层薄薄的PDMS溶液，静置待溶液流平后得到具有夹层结构的柔性传感器，将具有夹层结构的柔性传感器放入70℃的干燥箱中加热2h，得到基于纳米材料的柔性薄膜磁传感器。