[发明专利]补偿套刻数据的方法和系统

摘要

本发明公开了一种补偿套刻数据的方法和系统。该方法包括：获得中间目标层与下部目标层的套刻标记之间的第一偏移矢量和中间目标层与上部目标层的套刻标记之间的第二偏移矢量；将第一偏移矢量分解为第一可补偿分量和第一不可补偿分量，将第二偏移矢量分解为第二可补偿分量和第二不可补偿分量；执行最小化处理以得到第一不可补偿分量的最小值和第二不可补偿分量的最小值；由第一偏移矢量和第一不可补偿分量的最小值得到优化的第一可补偿分量，由第二偏移矢量和第二不可补偿分量的最小值得到优化的第二可补偿分量；根据优化的第一可补偿分量和优化的第二可补偿分量得到下部目标层与上部目标层的套刻标记之间的第三偏移矢量的第三可补偿分量。

主权项

1.一种补偿套刻数据的方法，其特征在于，包括：获得中间目标层的套刻标记与下部目标层的套刻标记之间的第一偏移矢量和所述中间目标层的套刻标记与上部目标层的套刻标记之间的第二偏移矢量；将所述第一偏移矢量分解为第一可补偿分量和第一不可补偿分量，以及将所述第二偏移矢量分解为第二可补偿分量和第二不可补偿分量；对所述第一不可补偿分量和所述第二不可补偿分量执行最小化处理，以得到所述第一不可补偿分量的最小值和所述第二不可补偿分量的最小值；根据所述第一偏移矢量和所述第一不可补偿分量的最小值得到优化的第一可补偿分量，以及根据所述第二偏移矢量和所述第二不可补偿分量的最小值得到优化的第二可补偿分量；以及根据所述优化的第一可补偿分量和所述优化的第二可补偿分量得到所述下部目标层的套刻标记与所述上部目标层的套刻标记之间的第三偏移矢量的第三可补偿分量。