[发明专利]一种微应变石墨烯传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201710785093.7 | 申请日： | 2017-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN109425447B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 杨德智 | 申请（专利权）人： | 北京清正泰科技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;G01L9/02;A61B5/02 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 陈超 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种石墨烯传感器，包括：石墨烯敏感层和柔性基底层，石墨烯敏感层位于柔性基底层上，柔性基底层具有垂直贯穿柔性基底层的镂空式形变敏感区。通过设置镂空式形变敏感区，提高了石墨烯传感器的灵敏度，又能对敏感元件本身进行有效保护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应变 石墨 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微应变石墨烯传感器，包括：石墨烯敏感层(1)和柔性基底层(2)，所述石墨烯敏感层(1)位于所述柔性基底层(2)上，其特征在于：所述柔性基底层(2)具有贯穿所述柔性基底层(2)的镂空式形变敏感区(3)。
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