[发明专利]一种对长度误差进行校正的方法有效
| 申请号： | 201710785290.9 | 申请日： | 2017-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN107388975B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 黎永明;杨颖;黎纯 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/04 | 分类号： | G01B11/04 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉;颜爱国 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明所涉及的对长度误差进行校正的方法，包括步骤1，设置光栅测量系统，光栅测量系统包括主光栅、与主光栅相对移动的副光栅；步骤2，将微量位移装置设置在主光栅的前方，微量位移装置包括具有可滑动的直杆的位移输入单元以及工作件平台，副光栅设置在工作件平台上；步骤3，将校正尺设置在直杆的下方，直杆的工作端与校正尺的工作面相接触；步骤4，进行移动测量，将副光栅与主光栅相对移动预定行程，且保持直杆与校正尺接触；步骤5，到达预定行程时，校正尺通过直杆传递至微量位移装置产生的副光栅移动的距离是工作件的制造和温度的累积误差，即光栅测量系统测得的数值是对主光栅的制造和温度的累积误差校正后的精确数值，此时即完成校正。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 长度 误差 进行 校正 方法 | ||
【主权项】：
一种对长度误差进行校正的方法，用于使用光栅测量系统、微量位移装置和校正尺来校正主光栅的制造累积误差和温度累积误差，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，设置所述光栅测量系统，所述光栅测量系统包括主光栅、与所述主光栅相对移动的副光栅；步骤2，将所述微量位移装置设置在所述主光栅的前方，所述微量位移装置包括具有可滑动的直杆的位移输入单元以及工作件平台，所述副光栅设置在所述工作件平台上；步骤3，将所述校正尺设置在所述直杆的下方，所述直杆的工作端与所述校正尺的工作面相接触；步骤4，进行移动测量，将所述副光栅与所述主光栅相对移动预定行程，且保持所述直杆与所述校正尺接触；步骤5，到达预定行程时，所述校正尺通过所述直杆传递至微量位移装置产生的所述副光栅移动的距离是工作件的制造和温度的累积误差，即所述光栅测量系统测得的数值是对主光栅的制造和温度的累积误差校正后的精确数值，此时即完成所述校正。
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