[发明专利]一种微量位移误差的校正装置

摘要

根据本发明所涉及的微量位移误差的校正装置，包括测量部、微动部以及校正机构。微动部包括位移输入单元、工件平台、支撑单元、连接单元、变速单元以及第一缓冲单元。变速单元将输入的位移量进行变速后输出；第一缓冲单元设置在变速单元与工作件平台之间，该第一缓冲单元的输入端与变速单元的输出端相连，输出端与工作件平台的输入端相连，第一缓冲单元具有缓冲吸收部件，用于缓冲来自变速单元作用于工件平台的作用力，并减小工件平台的位移量，缓冲吸收部件和工件平台相连。位移输入单元通过校正机构来设定输入位移，使得工件平台的位移量等于工作件的制造累积误差和温度累积误差。

主权项

一种微量位移误差的校正装置，用于校正工作件的制造的累积误差和温度累积误差，其特征在于，包括：测量部，具有所述工作件、与所述工作件相对移动的副件；微动部，设置在所述工作件的一侧，具有位移输入单元、工件平台，所述副件设置在所述工件平台上，所述位移输入单元用于接收外界的输入位移并驱动所述副件作微小的移动；以及校正机构，与所述位移输入单元相连，用于设定所述输入位移量，其中，所述微动部还包括：支撑单元，所述位移输入单元用于接收外界的位移量，与所述支撑单元滑动连接；连接单元，设置在所述支撑单元内，所述工件平台与所述连接单元相连，所述副件设置在所述工件平台上；变速单元，与所述位移输入单元相连，用于对所述位移量进行变速后输出；以及第一缓冲单元，设置在所述变速单元与所述工作件平台之间，该第一缓冲单元的输入端与所述变速单元的输出端相连，输出端与所述工作件平台的输入端相连，所述第一缓冲单元具有缓冲吸收部件，用于缓冲来自所述变速单元作用于所述工件平台的作用力，并减小所述工件平台的位移量，所述缓冲吸收部件和所述工件平台相连，所述位移输入单元通过所述校正机构来设定所述输入位移，使得所述工件平台的位移量等于所述工作件的所述制造累积误差和所述温度累积误差。