[发明专利]一种PERC微小图形印刷单晶太阳能电池片的制备方法

摘要

本发明公开了一种PERC微小图形印刷单晶太阳能电池片的制备方法，它以单晶硅片为基材，依次通过制绒、扩散、刻蚀、退火、背钝化、镀减反射膜、背面激光开槽、印刷、烧结、降光衰步骤制得；所述退火步骤采用无氧退火，背钝化步骤是在硅片背面镀Al2O3和SiNX，镀减反射膜步骤是在硅片正面镀SiNX，正电极印刷步骤采用丝网印刷，正电极印刷网版采用无网结微小图形印刷网版。本发明提供的一种PERC微小图形印刷单晶太阳能电池片的制备方法，可将电池片的LID可降低至1％附近，提高了组件成品的功率，转换效率高，品位和电性能都有明显的提升。

主权项

1.一种PERC微小图形印刷单晶太阳能电池片的制备方法，其特征在于：它以单晶硅片为基材，依次通过A.制绒，B.扩散，C.刻蚀，D.退火，E.背钝化，F.镀减反射膜，G.背面激光开槽，H.背电极、背电场、正电极印刷，I.烧结，J.降光衰步骤制得；所述D.退火步骤采用无氧退火，E.背钝化步骤是在硅片背面镀Al2O3和SiNX，F.镀减反射膜步骤是在硅片正面镀SiNX，H.背电极、背电场、正电极印刷步骤采用丝网印刷，正电极印刷网版采用无网结微小图形印刷网版。