[发明专利]一种金属纳米网的制作方法

摘要

本发明公开了一种金属纳米网的制作方法。该方法主要包括以下步骤（1）涂覆胶体粒子。在基底上均匀涂覆胶体粒子溶液，干燥后得到单层紧密排列的胶体粒子阵列。（2）电沉积牺牲层金属。以胶体粒子为掩膜进行电沉积，在基底上沉积出牺牲层金属。（3）电沉积纳米网金属层。以胶体粒子为掩膜、以牺牲层金属为基底进行第二次电沉积，沉积的金属层为纳米网的材料。（4）去除胶体粒子。（5）腐蚀牺牲层金属、得到纳米网。本发明采用胶体粒子掩膜结合牺牲层技术、借助胶体粒子轮廓形状来获得规则阵列的喇叭状孔的纳米网，通过控制胶体粒子粒径和牺牲层的沉积厚度控制纳米网的喇叭状孔上下孔径的大小；该方法制备的纳米网孔均匀、侧壁形状统一。

主权项

一种金属纳米网的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）涂覆胶体粒子：在基底上均匀涂覆胶体粒子溶液，干燥后得到单层紧密排列的胶体粒子阵列；（2）电沉积牺牲层金属：以单层胶体粒子为掩膜进行电沉积，在基底上沉积出牺牲层金属；（3）电沉积纳米网金属层：以胶体粒子为掩膜、以牺牲层金属为基底进行第二次电沉积，沉积的金属层为纳米网的材料；（4）去除胶体粒子：通过有机溶剂去除胶体粒子得到规则的碗状结构阵列；（5）腐蚀牺牲层金属、得到纳米网：将沉积金属层的基底放入选择性腐蚀液中，腐蚀掉牺牲层金属，从牺牲层上脱离的金属层即为制作的纳米网。