[发明专利]基板搬运装置及基板搬运方法

摘要

本发明提供基板搬送装置及基板搬送方法。该基板搬运装置的搬入搬出机构搬运以水平姿势载置的基板。切口对准器将载置在搬入搬出机构上的予定的基板沿周向旋转，变更设置于基板周缘部的切口在周向上的位置。搬入搬出机构具备四个与基板周缘部的下表面相对的支撑部。在基板搬运装置中，控制部基于就基板的翘曲状态输入的输入信息和翘曲‑切口位置信息，控制切口对准器，确定基板的切口在周向上的位置。由此，载置在搬入搬出机构上的状态的基板下表面与搬入搬出机构的四个支撑部接触。结果，能够防止或抑制由搬入搬出机构搬运中的基板的晃动和位置偏移，从而能够稳定地搬运基板。

主权项

一种基板搬运装置，其中，包括：搬运机构，搬运以水平姿势载置的基板；切口位置变更机构，将载置在上述搬运机构上的予定的上述基板沿周向旋转，变更设置于上述基板的周缘部的切口在上述周向上的位置；存储部，存储有包括上述基板的翘曲状态和切口位置的多个组合的翘曲‑切口位置信息，该切口位置是上述基板以上述翘曲状态载置在上述搬运机构上时呈合适的姿势的位置；以及控制部，控制上述切口位置变更机构；上述搬运机构具备四个支撑部，该支撑部与上述基板的上述周缘部的下表面相对；上述控制部基于就上述基板的翘曲状态输入的输入信息和上述翘曲‑切口位置信息，控制上述切口位置变更机构，确定上述基板的上述切口在上述周向上的位置，由此，载置在上述搬运机构上的状态的上述基板的上述下表面与上述搬运机构的上述四个支撑部接触。