[发明专利]集传感器及发光器为一体的高度集成型生物芯片及方法

摘要

本发明涉及生命科学半导体芯片的技术领域，更具体地，涉及集传感器及发光器为一体的高度集成型生物芯片及方法。本发明集成了传感器、参比电极、发光器，芯片尺寸更小，易植入生物体内，操作方便。本发明具有尺寸小、制作工艺简单、测试精度高、稳定性好、损耗低、重复性好，易植入生物体内等特点，能在对各类生物分子环境进行光照刺激的同时进行生物分子的测量。

主权项

1.集传感器及发光器为一体的高度集成型生物芯片，其特征在于，通过选区生长得到传感器与发光器的不同外延结构；其中传感器自下而上包括衬底层，以及依次形成在衬底层上的缓冲层、GaN层、AlGaN层；所述GaN层上形成凸台，GaN层和AlGaN层形成在GaN层的凸台上，所述AlGaN层上形成有源电极金属和漏电极金属，所述GaN层上形成参比电极，所述源电极金属和漏电极金属之间形成生物分子膜，所述生物分子膜即为传感区域；其中发光器自下而上包括衬底层，以及依次形成在衬底层上的缓冲层、GaN层、AlGaN层、图形化掩膜层、在传感器的外延结构上进行选择性外延生长的n‑GaN层、有源层、p‑GaN层以及透明导电薄膜，所述GaN层上形成凸台，GaN层、AlGaN层、图形化掩膜层、在传感器的外延结构上进行选择性外延生长的n‑GaN层、有源层、p‑GaN层以及透明导电薄膜形成在GaN层的凸台上，p电极金属设置在透明导电薄膜上，n电极金属设置在AlGaN层上；GaN层上还设有多个Pad区域，所述源电极金属、漏电极金属、参比电极、p电极金属、n电极金属、皆与对应的Pad区域电连接。