[发明专利]一种迷你型微机电可调光衰减器有效
| 申请号： | 201710795510.6 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN107462954B | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 梁联长 | 申请（专利权）人： | 四川梓冠光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/26 | 分类号： | G02B6/26;G02B26/08 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 吴中伟 |
| 地址： | 621000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学器件领域，公开了一种迷你型微机电可调光衰减器，解决现有MEMS VOA结构复杂、生产成本高的问题。本发明包括TO管座和MEMS芯片，MEMS芯片设置在TO管座上，TO管座包括金属台和插针，金属台设置有通孔，插针包括第一插针和第二插针；第一插针与金属台的下端连接，第二插针穿过所述通孔，且在第二插针与所述通孔之间填充有绝缘材料；第二插针包括上段部和下段部，其中，下段部的中心轴与所述通孔的中心轴重合，上段部的中心轴与所述通孔的中心轴偏离。本发明适用于光纤传输控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 迷你型 微机 调光 衰减器 | ||
【主权项】：
1.一种迷你型微机电可调光衰减器，包括TO管座和MEMS芯片，MEMS芯片设置在TO管座上，TO管座包括金属台和插针，金属台设置有通孔，插针包括第一插针和第二插针；第一插针与金属台的下端连接，第二插针穿过所述通孔，且在第二插针与所述通孔之间填充有绝缘材料；其特征在于，第二插针包括上段部和下段部，下段部的中心轴与上段部的中心轴偏离。
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