[发明专利]一种薄膜太阳能电池用多层膜结构的光伏背板玻璃

摘要

本发明公开一种薄膜太阳能电池用多层膜结构的光伏背板玻璃，包括玻璃基底，玻璃基底的应变点≥570℃、软化点≥800℃；所述玻璃基底顶面由下至上依次设有SiN膜层、CuZn膜层、ZnAl膜层、降阻膜层、防腐蚀膜层与Mo膜层；降阻膜层为Ti膜层或Cu膜层；防腐蚀膜层为MoN、MoO、TiN或TiON膜层；SiN膜层的厚度为80～120nm，CuZn膜层的厚度为50～90nm，ZnAl膜层的厚度为30～60nm，降阻膜层的厚度为15～35nm，防腐蚀膜层的厚度为20～50nm，Mo膜层的厚度为35～65nm；该背板玻璃具有高应变点、后期高温硒化不变形、抗腐蚀、低电阻率、薄膜应力小等优点，且多层膜结构与玻璃基底附着强度高，能够阻挡玻璃基底中Na+向吸收层的扩散且与CIGS有良好的欧姆接触。

主权项

一种薄膜太阳能电池用多层膜结构的光伏背板玻璃，其特征在于，包括玻璃基底，玻璃基底的应变点≥570℃、软化点≥800℃；所述玻璃基底顶面由下至上依次设有SiN膜层、CuZn膜层、ZnAl膜层、降阻膜层、防腐蚀膜层与Mo膜层；所述降阻膜层为Ti膜层或Cu膜层；所述防腐蚀膜层为MoN、MoO、TiN或TiON膜层；所述SiN膜层的厚度为80～120 nm，CuZn膜层的厚度为50～90 nm，ZnAl膜层的厚度为30～60 nm，降阻膜层的厚度为15～35 nm，防腐蚀膜层的厚度为20～50 nm，Mo膜层的的厚度为35～65 nm。