[发明专利]存储装置有效
申请号: | 201710796424.7 | 申请日: | 2017-09-06 |
公开(公告)号: | CN108573959B | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 田上政由;胜又龙太;饭島纯;清水徹哉;臼井孝公;藤田弦晖 | 申请(专利权)人: | 东芝存储器株式会社 |
主分类号: | H01L25/065 | 分类号: | H01L25/065 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 杨林勋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 实施方式的存储装置具备:第1存储单元阵列;第2存储单元阵列,相对于所述第1存储单元阵列配置在第1方向;第1接触插塞,在所述第1存储单元阵列中沿着所述第1方向延伸;以及第2接触插塞,在所述第2存储单元阵列中沿着所述第1方向延伸,且电连接在所述第1接触插塞。所述第1存储单元阵列包含在所述第1方向上积层的多个第1电极层、及贯通所述多个第1电极层的第1半导体柱,所述第2存储单元阵列包含在所述第1方向上积层的多个第2电极层、及贯通所述多个第2电极层的第2半导体柱。所述第1接触插塞电连接在所述第1半导体柱,所述第2接触插塞电连接在所述第2半导体柱。 | ||
搜索关键词: | 存储 装置 | ||
【主权项】:
1.一种存储装置,其特征在于具备:第1存储单元阵列,包含在第1方向上积层的多个第1电极层、及在所述第1方向上贯通所述多个第1电极层的第1半导体柱;第1接触插塞,在所述第1存储单元阵列中沿着所述第1方向延伸,且电连接在所述第1半导体柱;第2存储单元阵列,包含在所述第1方向上积层的多个第2电极层、及在所述第1方向上贯通所述多个第2电极层的第2半导体柱,且相对于所述第1存储单元阵列配置在所述第1方向;以及第2接触插塞,在所述第2存储单元阵列中沿着所述第1方向延伸,且电连接在所述第2半导体柱及所述第1接触插塞。
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