[发明专利]存储装置有效

专利信息
申请号: 201710796424.7 申请日: 2017-09-06
公开(公告)号: CN108573959B 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: 田上政由;胜又龙太;饭島纯;清水徹哉;臼井孝公;藤田弦晖 申请(专利权)人: 东芝存储器株式会社
主分类号: H01L25/065 分类号: H01L25/065
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 杨林勋
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实施方式的存储装置具备:第1存储单元阵列;第2存储单元阵列,相对于所述第1存储单元阵列配置在第1方向;第1接触插塞,在所述第1存储单元阵列中沿着所述第1方向延伸;以及第2接触插塞,在所述第2存储单元阵列中沿着所述第1方向延伸,且电连接在所述第1接触插塞。所述第1存储单元阵列包含在所述第1方向上积层的多个第1电极层、及贯通所述多个第1电极层的第1半导体柱,所述第2存储单元阵列包含在所述第1方向上积层的多个第2电极层、及贯通所述多个第2电极层的第2半导体柱。所述第1接触插塞电连接在所述第1半导体柱,所述第2接触插塞电连接在所述第2半导体柱。
搜索关键词: 存储 装置
【主权项】:
1.一种存储装置,其特征在于具备:第1存储单元阵列,包含在第1方向上积层的多个第1电极层、及在所述第1方向上贯通所述多个第1电极层的第1半导体柱;第1接触插塞,在所述第1存储单元阵列中沿着所述第1方向延伸,且电连接在所述第1半导体柱;第2存储单元阵列,包含在所述第1方向上积层的多个第2电极层、及在所述第1方向上贯通所述多个第2电极层的第2半导体柱,且相对于所述第1存储单元阵列配置在所述第1方向;以及第2接触插塞,在所述第2存储单元阵列中沿着所述第1方向延伸,且电连接在所述第2半导体柱及所述第1接触插塞。
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