[发明专利]操纵带电粒子的装置有效

专利信息
申请号: 201710796838.X 申请日: 2012-05-04
公开(公告)号: CN107611001B 公开(公告)日: 2019-07-05
发明(设计)人: 亚历山大·波得尼科夫;艾琳娜·安卓瑞耶娃;罗杰·贾尔斯 申请(专利权)人: 岛津研究实验室(欧洲)有限公司
主分类号: H01J49/00 分类号: H01J49/00;H01J49/06
代理公司: 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 代理人: 肖华
地址: 英国兰*** 国省代码: 英国;GB
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摘要: 发明涉及到一种用于带电粒子传送和操纵的装置。实施例能够将带正电粒子和带负电粒子结合为单个传送的包。实施例包含:电极的聚集物,该电极的聚集物被布置成形成用于传送带电粒子的通道;以及电源,该电源提供施加于电极的供电电压,该电压确保在所述通道内创建非均匀的高频电场,所述场的伪势至少在某个时间间隔内,沿着用于带电粒子传送的通道的长度具有一个以上的局部极值;然而,至少在用于带电粒子传送的通道的长度的部分内,至少在某个时间间隔内,伪势的至少一个所述极值随着时间被转置。
搜索关键词: 操纵 带电 粒子 装置
【主权项】:
1.一种用于操纵带电粒子的装置,其特征在于,所述装置包含:一系列电极,所述一系列电极被布置为形成用于传送所述带电粒子的通道;电源单元,所述电源单元适于向所述电极提供电源电压,以便在所述通道内创建非均匀的高频电场,所述场的伪势至少在某个时间间隔内,沿着用于传送带电粒子的所述通道的长度具有两个以上的局部极大值,其中,沿着所述通道的所述长度的所述带电粒子的传送由所述伪势的所述极大值中的至少两个极大值的转置被提供,从而至少在某个时间间隔内并且至少在所述通道的所述长度的部分内,使得所述极大值中的所述至少两个极大值随着时间沿着所述通道前进,其中,所述供电电压是高频电压;其中,所述装置被配置为通过粘性气体区域传送带电粒子,所述粘性气体区域中的气体压力满足条件L/λ>0.01,其中L为导向器的尺寸,并且λ为所述粘性气体的分子的平均自由行程。
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