[发明专利]电介质阻挡放电离子化检测器

摘要

提供氩气‑BID，能够防止由等离子体生成区域的扩大而产生单侧阻挡放电，实现高SN比。电介质阻挡放电离子化检测器具有：电介质管(111)；高压电极(112)，围绕设置于电介质管(111)的外壁并连接于交流电源；上游侧接地电极(113)及下游侧接地电极(114)，围绕设置于高压电极(112)的上下，通过在放电部(110)的放电生成等离子体，使供给至电荷收集部(120)的试料气体中的成分离子化并检测离子电流，使上游侧接地电极(113)的长度比电介质管(111)上端的管路前端部件(116)与高压电极(112)之间的沿面放电的开始距离长，或者使下游侧接地电极(114)的长度比高压电极(112)与电荷收集部(120)之间的沿面放电的开始距离长，或者同时满足上述两种情况。

主权项

一种电介质阻挡放电离子化检测器，利用等离子体使试料气体中的试料成分离子化而进行检测，所述等离子体是通过在含有氩气的等离子体生成气体流动的气体流路中进行放电而产生的，其特征在于，具有：a)高压电极，面向所述气体流路的表面被电介质包覆；b)接地电极，所述接地电极是电气地接地并以面向所述气体流路的方式配置的电极，面向该气体流路的表面中至少在所述等离子体生成气体的流动方向上的上游侧区域被电介质包覆，并且被该电介质包覆的区域的至少一部分在所述气体流动方向上位于所述高压电极的下游侧；c)交流电源，连接于所述高压电极，在所述高压电极与所述接地电极之间施加交流电压，使得在所述气体流路中产生电介质阻挡放电并生成等离子体；d)电荷收集部，所述电荷收集部为所述气体流路的一部分，位于所述接地电极的被所述电介质包覆的区域的下游侧的端部的下游，具备：试料气体导入装置，将试料导入至该部分；收集电极，收集因从所述等离子体发出的光而从所述试料气体中的试料成分生成的离子，位于所述高压电极的下游的、所述接地电极中被所述电介质包覆的区域的长度，比所述高压电极与所述电荷收集部之间的沿面放电的开始距离长。