[发明专利]电介质阻挡放电离子化检测器

摘要

提供能够实现高SN比的氩气‑BID。在电介质阻挡放电离子化检测器中具有：电介质圆筒管(111)；高压电极(112)，围绕设置于电介质圆筒管(111)的外壁并连接于交流电源；上游侧接地电极(113)以及下游侧接地电极(114)，围绕设置于高压电极(112)，通过在放电部(110)内的放电而从包含氩气的气体生成等离子体，通过等离子体的作用，使被供给至电荷收集部(120)的试料气体中的成分离子化，检测该离子化后成分的离子电流，在电介质圆筒管(111)的内周面形成半导体膜(117)，并且使上游侧接地电极(113)以及下游侧接地电极(114)的长度分别比高压电极(112)与管路前端部件(116)之间以及高压电极(112)与电荷收集部(120)之间的沿面放电的开始距离长。

主权项

一种电介质阻挡放电离子化检测器，利用等离子体使试料气体中的试料成分离子化而进行检测，所述等离子体是通过在含有氩气的等离子体生成气体流动的气体流路中进行放电而产生的，其特征在于，所述电介质阻挡放电离子化检测器具有：a)电介质管，所述电介质管是由电介质构成的管并对所述气体流路的上游侧的一部分进行容纳；b)高压电极，安装于所述电介质管的外壁；c)接地电极，所述接地电极是电气地接地并以面向所述气体流路的方式配置的电极，面向该气体流路的表面被电介质包覆，并且该表面的至少一部分在所述等离子体生成气体的流动方向上位于所述高压电极的下游侧；d)交流电源，连接于所述高压电极，在所述高压电极与所述接地电极之间施加交流电压，使得在所述气体流路中产生电介质阻挡放电并生成等离子体；e)电荷收集部，所述电荷收集部为所述气体流路的下游侧的一部分，位于所述接地电极的下游，具备：试料气体导入装置，将试料导入至该部分；收集电极，收集因从所述等离子体发出的光而从所述试料气体中的试料成分生成的离子，在所述电介质管的、安装有所述高压电极的区域以及/或者该区域的下游且所述电荷收集部的上游的区域的内壁，形成有半导体膜，并且所述高压电极的下游的所述接地电极的长度，比所述高压电极与所述电荷收集部之间的沿面放电的开始距离长。