[发明专利]一种多晶硅生产方法在审
| 申请号： | 201710798943.7 | 申请日： | 2017-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN109467089A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 大卫·米克森;本·菲尔斯曼 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C01B33/029;C01B33/035 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅生产方法，包括如下步骤：在化学气相沉积反应器的高温环境，通过原料氯代硅烷与氢气发生热分解反应，生成多晶硅，反应产生的尾气经尾气回收系统处理，将分离的氯化氢和氢气混合气体直接返回至化学气相沉积反应器继续参与反应。采用本发明技术方案，回收的氯化氢和氢气混合气体不再进行分离，而直接作为原料参与沉积反应，极大地节约了成本。同时，氯化氢能够抑制反应器内的硅粉产生，消除雾化现象，逐而减少反应器内壁的硅沉积，减少产品的氯含量，提高了产品纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 氯化氢 化学气相沉积反应器 氢气混合气体 多晶硅生产 尾气回收系统 反应器内壁 热分解反应 产品纯度 高温环境 氯代硅烷 氢气发生 雾化现象 反应器 多晶硅 硅沉积 硅粉 沉积 尾气 回收 返回 节约 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅生产方法，包括在化学气相沉积反应器内，通过含硅原料气与氢气发生化学气相沉积反应生产多晶硅，反应尾气经尾气回收系统进行处理，其特征在于，所述从反应尾气中一次性分离得到的氯化氢与氢气的混合气体，不再进行分离，直接返回至化学气相沉积反应器，作为原料参与反应。
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