[发明专利]用于光的二维偏转的微机械装置和方法有效
| 申请号： | 201710799383.7 | 申请日： | 2017-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN107797274B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | M·哈塔斯;R·毛尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G02B26/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明实现用于光的二维偏转的一种微机械装置和一种方法。该装置具有：反射镜组件(12)，该反射镜组件具有用于使照射到反射镜面(13)上的光偏转的反射镜面(13)；其中，反射镜组件(12)能够围绕第一轴线(D1)旋转地布置在第一框架组件(14)内部并且固定在第一框架组件(14)上；其中，第一框架组件(14)能够围绕第二轴线(D2)旋转地布置在致动结构(16)内部并且固定在致动结构(16)上；其中，致动结构(16)具有至少四个压电致动组件(18‑i)；其中，至少四个压电致动组件(18‑i)的位置不仅关于第一轴线(D1)而且关于第二轴线(D2)对称地布置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 二维 偏转 微机 装置 方法 | ||
【主权项】：
用于光的二维偏转的微机械装置(10)，所述微机械装置具有：反射镜组件(12)，该反射镜组件具有用于使照射到反射镜面(13)上的光偏转的所述反射镜面(13)；其中，所述反射镜组件(12)能够围绕第一轴线(D1)旋转地布置在第一框架组件(14)内部并且固定在所述第一框架组件(14)上；其中，所述第一框架组件(14)能够围绕第二轴线(D2)旋转地布置在致动结构(16)内部并且固定在所述致动结构(16)上；其中，所述致动结构(16)具有至少四个压电致动组件(18‑i)；并且其中，所述至少四个压电致动组件(18‑i)的位置不仅关于所述第一轴线(D1)而且关于所述第二轴线(D2)对称地布置。
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