[发明专利]部件搭载装置以及部件搭载方法

摘要

本发明提供部件搭载装置以及部件搭载方法。利用基板保持工作台保持基板的中央区域的下表面，并利用支承工作台保持基板的端部区域(设置有部件搭载部的区域)的下表面。然后，在使基板保持工作台与支承工作台一起移动而使部件搭载部位于作业位置后，搭载头将部件从上方按压于部件搭载部，从而将部件搭载于基板。然后，在此期间，吸引机构通过在支承工作台的上表面开设的多个吸引口来吸引支承工作台支承的基板的端部区域。

主权项

一种部件搭载装置，其在具有中央区域以及设置有部件搭载部的端部区域的基板上搭载部件，所述部件搭载装置的特征在于，具备：基板保持工作台，其保持所述基板的所述中央区域的下表面；支承工作台，其保持所述基板的所述端部区域的下表面；吸引机构，所述部件搭载装置具有在所述支承工作台的上表面开设的多个吸引口，该吸引机构通过所述多个吸引口吸引所述基板的所述端部区域；工作台移动机构，其使所述基板保持工作台与所述支承工作台一起移动而使所述部件搭载部位于规定的作业位置；以及搭载头，其拾取所述部件，将所述部件从上方按压于所述部件搭载部，从而将所述部件搭载于所述基板。