[发明专利]对准装置及对准方法

摘要

本发明提供一种对准装置及对准方法。该对准装置中，使承载图案的承载体(BL)与被转印图案的被转印体(SB)对向配置。基于拍摄承载体(BL)的外缘的至少一部分而得的结果，使第一保持设备(61)移动而将承载体(BL)定位在第一目标位置。基于拍摄被转印体(SB)的外缘中的至少一部分而得的结果，使第二保持设备(41)移动而将被转印体(SB)定位在规定的第二目标位置。拍摄形成在承载体(BL)的第一对准标记及形成在被转印体的第二对准标记，基于其拍摄结果使第一保持设备(61)及第二保持设备(41)中的至少一者移动，对承载体(BL)与被转印体(SB)进行位置对准。

主权项

一种对准装置，其特征在于，包括：第一保持设备，保持形成着第一对准标记且具有光透过性的第一板状体，可使所述第一板状体在与其主面平行的方向移动；第二保持设备，使形成着第二对准标记的第二板状体保持相对于所述第一板状体平行且隔着规定的间隙而邻近对向的状态，可使所述第二板状体在与其主面平行的方向移动；主拍摄设备，相对于所述第一板状体，以光轴与所述第一板状体的主面正交的方式配置在与所述第二板状体为相反侧的一侧，拍摄所述第一板状体及所述第二板状体；以及副拍摄设备，相对于所述第一板状体设置在与所述第二板状体为相反侧的一侧，以比所述主拍摄设备的拍摄范围更广泛的拍摄范围对所述第一板状体及所述第二板状体进行拍摄；且基于所述副拍摄设备的拍摄结果，所述第一保持设备使所述第一板状体移动定位在所述第一对准标记处于所述主拍摄设备的拍摄范围的位置，另一方面，基于所述副拍摄设备的拍摄结果，所述第二保持设备使所述第二板状体移动定位在所述第二对准标记处于所述主拍摄设备的拍摄范围的位置，在所述间隙的大小被维持的状态下，进而，基于在同一视场内拍摄的包含所述第一对准标记及所述第二对准标记的所述主拍摄设备的拍摄结果，所述第一保持设备及所述第二保持设备中的至少一者使所述第一板状体与所述第二板状体的相对位置变化，以使所述第二对准标记相对于所述第一对准标记的相对位置成为预先规定的目标位置。