[发明专利]真空度在线检测及其补偿系统

摘要

本发明涉及一种真空度在线检测及其补偿系统，包括真空度检测系统以及真空度补偿装置，所述真空度检测系统包括数据采集终端、真空度在线检测模块、真空在线检测密封塞、历史数据曲线生成模拟器、历史数据曲线分析处理器；通过检测模块实时检测真空设备的真空度，历史数据曲线生成模拟器生成真空度的实时曲线，历史数据曲线分析处理器根据曲线的走势分析该设备是否已经出现密封性能下降的问题，并计算出该设备的真空度何时会出现真空度不达标，从而做出相应的解决措施；为了解决真空度随时间下降的问题，通过控制电机调节真空度补偿腔内的活塞，对该设备进行抽真空操作，解决了真空设备真空度随时间衰减的问题，这里的衰减是指正常衰减。

主权项

1.真空度在线检测及其补偿系统，其特征在于：包括真空度检测系统以及真空度补偿装置，所述真空度检测系统包括数据采集终端、真空度在线检测模块、真空在线检测密封塞、历史数据曲线生成模拟器、历史数据曲线分析处理器；/n所述数据采集终端连接至少一个真空度在线检测模块，所述真空度在线检测模块连接真空在线检测密封塞；其中，所述真空在线检测密封塞安装在真空设备上用于获取真空设备内的真空数据；所述真空度在线检测模块用于对真空在线检测密封塞获取的真空数据进行处理得到真空设备真空层的真空度；所述数据采集终端用于获取至少一个真空度在线检测模块送来的真空度数据，并将数据发送给历史数据曲线生成模拟器生成模拟数据曲线并实时更新，历史数据曲线分析处理器分析历史数据曲线并根据曲线走势进行报警提示和/或输出控制真空设备关闭信号；/n所述真空度补偿装置包括安装在真空在线检测密封塞或真空设备上的真空度补偿腔，所述真空度补偿腔与真空在线检测密封塞和真空设备之间设置有单向阀，真空度补偿腔内安装活塞，所述活塞连接有活塞推杆，所述活塞推杆由电机提供动力，所述电机与历史数据曲线分析处理器连接;/n所述真空在线检测的密封塞包括陶瓷基体，所述陶瓷基体下方连接热电偶规管以及用于检测真空装置内的温度的温度传感器，所述热电偶规管与内嵌于所述陶瓷基体内的第一导线连接，所述第一导线两端伸出于所述陶瓷基体上下两端；所述第一导线连接所述真空度在线检测模块，所述温度传感器与内嵌于所述陶瓷基体内的第二导线连接；所述第二导线连接所述真空度在线检测模块；/n所述陶瓷基体为圆柱状，其外侧表面设有密封槽，所述密封槽内安装密封胶圈，所述密封胶圈是中空胶圈，其中空夹层内放置的是固态或液态挥发性有机物；/n所述挥发性有机物是干冰、樟脑丸中的一种或两种的结合；或液态芳香烃中的一种。/n