[发明专利]一种多气体成分的真空漏孔流量测量装置及方法

摘要

本发明提供了一种多气体成分的真空漏孔流量测量装置及方法，能够获得任意组分气体标准流量，实现多气体成分的真空漏孔流量的准确测量。采用限流元件和微调阀串接的多路标准流量管路并联后和测量室组成气路，通过微调阀的多路联合调节实现标准气体流量的准确获取。本发明的多气体成分的真空漏孔流量测量方法，依据被测气体质谱图，通过微调阀的调节，获得相应的压力计与真空规测量数据，进而获得流入测量室混合的标准气体流量，实现一定流量值和一定组分比例的标准气体流量的准确提供，使得标准气体流量能够简单准确的获得，克服了现有标准流量计由于流量连续变化、更换或者并联不同结构类型漏率元器件所带来的标准气体流量的不准确的问题。

主权项

1.一种多气体成分的真空漏孔流量测量装置，其特征在于，包括多路标准流量管路、压力计、质谱计(18)、测量室(20)、抽气机组(21)和被测气体进气阀门(22)；外围设备为被测真空漏孔(23)，被测真空漏孔流出的气体为由多气体成分组成的混合气体；其中，标准流量管路包括依次串接的气瓶、微调阀、混合进气阀门、限流元件和出气阀门，各路标准流量管路的出气阀门并联后接测量室(20)；被测真空漏孔(23)通过被测气体进气阀门(22)与测量室(20)相连；混合气体中各气体成分对应的各个单一气体，作为单一标准气体充装在各路标准流量管路的气瓶中；微调阀为连续压力调节阀门；压力计用于测量各路标准流量管路中的微调阀与混合进气阀门之间的气体压力，以及测量室内的气体压力；质谱计用于测量测量室内气体的质谱图和离子流；抽气机组用于对测量室进行抽气。