[发明专利]一种低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板在审
| 申请号： | 201710805743.X | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN107785227A | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 陈萍;田进寿;韦永林;刘虎林;赛小锋;王兴;王超;王俊锋;温文龙;卢裕;何凯;裴承全;辛丽伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H01J43/04 | 分类号： | H01J43/04;H01J43/06 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人： | 唐沛 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板。该微通道板包括若干个平行通道组成的二维阵列，其中，二维阵列的上端面镀有输入电极层，二维阵列的下端面镀有输出电极层；其改进之处是每个通道包括开设在输入电极层的输入口以及开设在输出电极层的输出口；输入口与通道上端连通，输出口与通道下端连通；输入口自上而下逐渐减小，从而形成的微通道板的通道开口面积大于90％；输入电极的表面覆盖有具有高二次电子发射系数的薄膜。本发明的微通道板微通道开口面积大，增加了电子进入通道的概率，提高了收集效率；电极表面覆盖的高二次电子发射材料薄膜能够减少落在电极表面的电子损失的概率，进一步提高了收集效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 延迟 脉冲 低串扰 收集 效率 通道 | ||
【主权项】：
一种低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板，包括若干个平行通道组成的二维阵列，其中，二维阵列的上端面镀有输入电极层，二维阵列的下端面镀有输出电极层；其特征在于：每个通道包括开设在输入电极层的输入口以及开设在输出电极层的输出口；输入口与通道上端连通，输出口与通道下端连通；输入口自上而下逐渐减小，从而形成的微通道板的通道开口面积大于90％。
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