[发明专利]一种透明柔性异质PN结二极管及其制备方法在审
| 申请号： | 201710806150.5 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN107623044A | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 张新安;张朋林;李爽;郑海务;张伟风 | 申请（专利权）人： | 河南大学 |
| 主分类号： | H01L29/861 | 分类号： | H01L29/861;H01L29/26;H01L21/34 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司41119 | 代理人： | 胡云飞 |
| 地址： | 475004*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种透明柔性异质PN结二极管及其制备方法，属于透明柔性电子电路技术领域。该透明柔性异质PN结二极管包括由下往上依次设置的透明柔性衬底、透明柔性正电极薄膜、透明柔性非晶态P型半导体薄膜、透明柔性非晶态N型半导体薄膜和透明柔性负电极薄膜，透明柔性非晶态N型半导体薄膜为以IZO、TZO、IGZO中的任意一种为靶材在有氧氛围下通过溅射制得；透明柔性非晶态P型半导体薄膜为以NiO、CuO、SnO中的任意一种为靶材在有氧氛围下通过溅射制得。本发明中由于异质PN结采用了非晶态氧化物半导体，避免了晶粒间界在机械形变下产生的电学不稳定性，从而使器件具有优异的柔韧性，可以用作透明柔性电路中的整流单元。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 柔性 pn 二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种透明柔性异质PN结二极管，其特征在于，包括自下而上依次层叠设置的透明柔性衬底、透明柔性正电极薄膜、透明柔性非晶态P型半导体薄膜、透明柔性非晶态N型半导体薄膜和透明柔性负电极薄膜；所述透明柔性非晶态N型半导体薄膜为以IZO、TZO、IGZO中的任意一种为靶材在有氧氛围下通过溅射制得；所述透明柔性非晶态P型半导体薄膜为以NiO、CuO、SnO中的任意一种为靶材在有氧氛围下通过溅射制得。
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